Kāpēc irMolibdēna blīvepārklāšanai ar augstu{0}}temperatūras blīvējumu?
Vakuuma pārklājumu ražošanas nozares darba apstākļu sāpju punkti: kāpēc ir stingras prasības blīvēm?
Magnetronu izsmidzināšana un elektronu staru iztvaikošana ir pusvadītāju plāksnīšu pārklājuma, optisko lēcu pārklājuma un fotoelektriskā stikla pārklājuma pamatprocesi. To ražošanas apstākļos ir trīs galvenie sāpju punkti, un parastās blīves vispār nevar pielāgoties. Tās ir arī nozares īpašās prasības blīvējuma komponentiem. Prasību iemesli:
Augstas vakuuma prasības: procesam ir jāuztur īpaši augsta vakuuma vide 10 ³ ~ 10 ₹ Pa. Ja blīvei ir problēmas ar deflāciju un vakuuma noplūdi, tas radīs defektus, piemēram, caurumus, bedrītes un pārklājuma slāņa adhēzijas samazināšanos.
Augstas temperatūras darba apstākļi: pārklāšanas procesa laikā mērķa karsēšanas un substrāta cepšanas temperatūra var sasniegt 300-800 grādus, un daži augstākās klases elektronu staru iztvaikošanas procesi pat pārsniedz 1000 grādus. Blīvei ir jāsaglabā stabils izmērs augstā temperatūrā, bez deformācijas vai mīkstināšanas.
Vidēja izturība pret koroziju: pārklāšanas laikā tiks ražoti metāla tvaiki, piemēram, alumīnijs, titāns, hroms un silīcijs. Tajā pašā laikā, kopā ar jonu bombardēšanu, blīvei jāizvairās no sakausēšanas reakcijām ar pārklāto metālu, un to nevar oksidēt ar jonu bombardēšanu, veidojot piemaisījumu daļiņas.
Parastās blīves (gumijas blīvēm ir augstas temperatūras pretestība < 200 grādiem, nerūsējošā tērauda blīvēm ir liels augstas temperatūras termiskās izplešanās koeficients, un vara blīves ir viegli piesūcinātas ar pārklātu metālu) vienlaikus nevar izpildīt iepriekšminētās prasības, un molibdēna materiāla īpašības atbilst vakuuma pārklājuma darba apstākļiem. Kļūsti par labāko izvēli komponentu blīvēšanai šajā nozarē.
Kādi ir galvenie tehniskie raksturlielumi molibdēna blīvēm, kas pielāgojas augstas -temperatūras vakuuma blīvēm vakuuma pārklājumu nozarē?
trīs dimensijas
Molibdēna blīves var precīzi atrisināt vakuuma pārklājuma apstākļu sāpju punktus. Kodols izriet no molibdēna ugunsizturīgā metāla rakstura, kā arī materiālu un apstrādes optimizācijas atbilstoši nozares vajadzībām. Tā augstās -temperatūras vakuuma blīvējuma pielāgošanās spēja galvenokārt izpaužas trīs dimensijās:
Zema termiskā izplešanās augstā temperatūrā un augsta izmēru stabilitāte, lai izvairītos no blīvējuma virsmas bojājumiem
Molibdēna kušanas temperatūra ir līdz 2610 grādiem, pārklājuma darba stāvoklī, kas ir zemāks par 800 grādiem, nav mīkstināšanas, plastiskas deformācijas, un termiskās izplešanās koeficients ir zems (5,8 × 10 ± →/grāds, 20 ~ 500 grādi), kas atbilst vacuum-pansion materiālu termiskās izplešanās koeficienta materiāla kodola dobumam. (304/316 nerūsējošais tērauds, titāna sakausējums) ir ļoti saskaņots.
Salīdzinot ar konkurējošām nerūsējošā tērauda blīvēm, nerūsējošā tērauda termiskās izplešanās koeficients ir aptuveni 17 × 10 grādi / grāds. Augstā temperatūrā termiskās izplešanās deformācijas starpība starp dobumu un blīvi ir liela, kas novedīs pie spraugām uz blīvējuma virsmas un izraisīs vakuuma noplūdi; Molibdēna blīve un dobums sinhroni izplešas un saraujas, kas vienmēr var saglabāt blīvējuma virsmas cieši piegulšanu un izvairīties no blīvējuma kļūmes, ko izraisa termiskā deformācija no saknes.
Zema asiņošanas veiktspēja ar augstu tīrību, lai nodrošinātu īpaši{0}}augsta vakuuma vidi
Vakuuma pārklājumam ir ārkārtīgi augstas prasības attiecībā uz blīves atgaisošanas ātrumu. Ja starplikas iekšpusē ir poras un piemaisījumi, augstā temperatūrā izdalīsies tādas gāzes kā H ₂ O, CO ₂ un N ₂, iznīcinot vakuumu.
Molibdēna starpliku molibdēna tīrības pakāpei vakuumpārklāšanai rūpniecībā ir jābūt lielākai vai vienādai ar 99. 95%, un augstākās klases elektronu staru kūļa iztvaikošanas pārklājumam ir jābūt lielākai vai vienādai ar 99. 99%; Augstas -tīrības pakāpes molibdēna iekšējā porainība ir < 0,01%, un pēc vakuuma atkausēšanas (vakuuma pakāpe ir virs 10 ˚Pa, temperatūra ir 1000 ~ 1200 grādi) apstrādes procesā adsorbēto eļļu, ūdeni un iekšējo atlikušo gāzi var noņemt, lai kopējais molibdēna gāzēšanas ātrums būtu zem augsts 1 × 10 ˚ Pa m³/s, kas pilnībā atbilst 10 ˚ Pa ultra{11}}augsta vakuuma procesa prasībām.
Pret-pārklājuma vide, pret-jonu bombardēšana un izvairīšanās no piemaisījumu iekļūšanas
Molibdēnam ir lieliska ķīmiskā stabilitāte. Vakuuma un augstas temperatūras vidē tas netiks sakausēts ar plašiem pārklājuma metāliem, piemēram, alumīniju, titānu un hromu, kā arī to nesasūks pārklājuma metāla tvaiki. Tajā pašā laikā molibdēnam ir spēcīga pret-jonu bombardēšanas spēja. Magnetrona izsmidzināšanas jonu ietekmē uz virsmas nebūs oksidācijas gružu vai izkliedēšanas daļiņu, kas ļauj izvairīties no produkta defektiem, ko izraisa piemaisījumu iekļūšana pārklājuma slānī.
Tradicionālās nerūsējošā tērauda blīves ir pakļautas oksīda daļiņu, piemēram, Cr ₂ O ˚, Fe ˚ O ˚ , veidošanās joniem bombardējot, kas ir viens no galvenajiem pārklāšanas izstrādājumu caurumu un bedrīšu cēloņiem.
Kādu praktisko pielietojuma vērtību molibdēna blīves var sniegt vakuuma pārklājumu rūpniecībā?
Salīdzinot ar parastajām blīvēm, molibdēna blīves var ievērojami uzlabot ražošanas efektivitāti un produktu kvalitāti vakuuma pārklājuma ražošanas līnijā. Pamatvērtība atspoguļojas faktiskās ražošanas izmaksu samazināšanā, efektivitātes paaugstināšanā un kvalitātes uzlabošanā:
Pacelšanas iekārtu izmantošanas līmenis: molibdēna starpliku kalpošanas laiks darba apstākļos zem 800 grādiem ir 5-8 reizes lielāks nekā nerūsējošā tērauda blīvēm un 3-5 reizes ilgāks nekā vara blīvēm, kas samazina blīvējuma bojājuma izraisīto izslēgšanas gadījumu un spilventiņu maiņu skaitu. Parastais pārklājums. Ražošanas līnija var samazināt ikmēneša izslēgšanas apkopes laiku no 8-10 stundām līdz 1-2 stundām.
Uzlabojiet pārklājuma izstrādājumu ražīgumu: zemas izplūdes un bez piemaisījumu izdalīšanās īpašības var samazināt ne-labo pārklājuma produktu caurumu un bedrīšu līmeni par vairāk nekā 80%, īpaši piemērots augstas klases pārklājuma laukiem, piemēram, pusvadītājiem un optiskajām lēcām.
Samaziniet visaptverošās izmaksas: lai gan molibdēna blīvju vienības cena ir 3–5 reizes augstāka nekā nerūsējošā tērauda un vara blīvēm, izmaksu ietaupījums, ko nodrošina īpaši -ilgais kalpošanas laiks un uzlabots ražības līmenis, ir daudz augstāks nekā sākotnējās iepirkuma izmaksas. Palīgmateriālu izmaksas var samazināt par aptuveni 40%.
Kā optimizēt molibdēna starpliku pielietojuma sāpju punktus vakuuma pārklājumu rūpniecībā?
Pašlaik, pielietojot molibdēna blīves vakuuma pārklājumu rūpniecībā, ir neliels sāpju punkts par nepietiekamu oksidācijas pretestību augstā temperatūrā virs 800 grādiem. Molibdēnu ir viegli oksidēt, veidojot MoO ㎡ (gaistošs, piesārņos vakuuma dobumu) augstā gaisa temperatūrā/zemā vakuumā. Reaģējot uz šo problēmu, optimizācijas virziens nozarē ir radījis skaidru risinājumu, un kodols griežas ap molibdēna{3}}kompozītmateriālu blīvēm:
Virsmas kompozītmateriāla modifikācija: plānas tantala loksnes slānis ir kompozīts uz molibdēna starplikas virsmas (tantalam ir labāka augstas temperatūras oksidācijas izturība un ķīmiskā stabilitāte), kas ne tikai saglabā molibdēna zemās termiskās izplešanās īpašības, bet arī uzlabo augstas{1}temperatūras oksidācijas izturību.
Molibdēna sakausējuma blīves: Mo-Ti-Zr sakausējuma blīves tiek izmantotas, lai uzlabotu materiāla oksidācijas izturību augstās
Vakuuma aizsardzības apstrāde: Molibdēna starpliku apstrādā ar vakuuma jonu pārklājumu, un uz virsmas tiek izveidota blīva keramikas aizsargplēve, lai izolētu oksidācijas reakciju augstā temperatūrā, neietekmējot blīvējuma virsmas piemērotību.
NOSAUKUMS
Ava
E{0}}pasts
